工业微波干燥设备的谐振模式数目与微波炉腔腔体是成正比的。一般来说谐振模式数目越多，那么微波炉腔腔体的体积也会随之变大，因为许多厂家为了确保工业微波干燥设备的分布均匀性，需要合理调整微波干燥设备的谐振模式数目。

工业微波干燥设备的微波能量源也是遵守能量守恒定律的，因此片面地增大微波炉腔腔体的体积有可能会导致其内部能量失恒。因为所有的厂家为了确保微波磁场的分布均匀性，都会通过能量守恒定律合理设计与控制炉腔腔体的微波功率密度。

工业微波干燥设备的炉腔腔体采用不同材料制作会有不同的效果。因此在制作时需要为微波炉腔腔体匹配合适的金属材料，因为不同金属材料的导电率是非常有限的，选择金属材料不适当有可能会造成整个腔壁的面积与损耗失去平衡。